JSIR340-4 bare die emitter (3.6x3.6x0.36 mm³)

JSIR340-4 bare die emitter | VKM0920673_406

MEMS-Emitterchip auf Waferlevel für Massenmärkte in der NDIR Gasanalyse

  • Economy MEMS-Emitter bare die
  • Spektraler Emissionsbereich 2 ... 15 µm
  • Lange Lebensdauer,
  • Zeitkonstante von 23 ms,
  • Vereinzelte Chips auf Tape
5.075,00 

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Beschreibung

Der kosteneffiziente Infrarot-Emitter-Chip JSIR340-4 bare die ist optimiert für die NDIR Gasanalyse und andere Infrarot Messanwendungen wie DIR Spektroskopie, ATR Spektroskopie oder PAS Spektroskopie - mit Optimum im Spektralbereich von 2 bis 15 µm. Der CMOS basierten Emitter-Chip mit einer aktiven Fläche von 2,2 x 2,2 mm2 erreicht Membrantemperaturen von bis zu 750 °C. Sie ermöglicht eine langzeitstabile Strahlungsleistung für industrielle Anwendungen zur Kontrolle und Überwachung von Prozessgasen, Begleitgasen bei Umgebungstemperaturen zwischen - 20 und 85 °C.

Die Emitter-Chips sind auf Waferlevel (4 Zoll) erhältlich. Die mitgelieferte digitale Wafermap ermöglicht automatisiertes pick and place zur Systemintegration.

Der MEMS-Chip besteht aus einer mehrschichtigen Heizplattenmembran, basierend auf einem Siliziumsubstrat mit einer rückseitig geätzten Membran. Alle Dünnschichtprozesse werden mit Standard-MEMS-Prozessen und CMOS-kompatiblen Materialien durchgeführt. Die aktive C-MOSI Widerstandsschicht wird durch eine hochtemperaturstabile Metall-CMOSI-Schicht vor Alterungs- und Umwelteinflüssen geschützt.

Alle technischen Informationen können dem Datenblatt entnommen werden. Unser Sales-Team berät Sie gern zu Staffelpreisen für größere Stückzahlen.

Technische Daten

Aktive Fläche [mm²] 2.2 x 2.2
Spektralleistung [µm] Typ. 2–15
Temperaturkoeffizient [ppm/K.] Typ. 1200
Zeitkonstante [ms] Typ. 23
Nennleistung [W] 0,65
Zielgas
  • CO2
  • H2O
  • NO
  • SF6
  • N2O
  • CO
  • SO2
  • -OH
  • CH4
  • CXHY
  • Halothan
  • Desfluran
  • Isofluran
Größe [Zoll] 4
Chips pro Wafer 406