Forschung und geförderte Projekte
Wir arbeiten kontinuierlich an der Entwicklung und Optimierung unserer Produkte und Prozesse durch Kooperation mit anderen Unternehmen, Forschungseinrichungen und öffentlich geförderter Verbundprojekte.
Zuwendung aus dem Förderprogramm des Freistaats Thüringen zur Förderung von Forschung, Technologie und Innovation (FTI)
Beschreibung des Vorhabens:
„POxIR - Herstellung polykristalliner oxidischer IR-Fenster und deren Integration in einen IR-Sensor“
Zeitraum:
10I2023 - 09I2026
Ziel:
Herstellung polykristalliner oxidischer IR-Fenster und deren Integration in einen IR-Sensor, der eine hohe chemische, thermische und mechanische Widerstandsfähigkeit aufweist, um harschen Umweltbedingungen standzuhalten. Den Herstellungsprozess kennzeichnen ressourcenschonende Verfahren und der Einsatz umweltverträglicher Materialien.
Im Konsortium arbeiten an diesem Projekt:
- Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme IKTS
- 5microns GmbH
- Micro-Hybrid Electronic GmbH
Wachstumskern HIPS
www.sicer.de
Im Wachstumskern HIPS (High Performance Sensorsysteme) entwickeln Thüringer Industrieunternehmen und Forschungseinrichtungen neuartige, robuste und hochintegrierte Sensoren auf Basis der patentierten SiCer-Technologie. Die einzigartige Verbindung von Siliziumtechnologie (Si) mit keramischer Mehrlagentechnik (Cer) ermöglicht neue Anwendungen in rauen Umgebungen. Gleichzeitig kann man mit dieser zukunftsweisenden Technologie Trends wie zunehmender Miniaturisierung, Digitalisierung und maschinellem Lernen begegnen
Micro-Hybrid ist an zwei der drei Verbundprojekte beteiligt:
VP 1: Erforschung einer multifunktionellen Substrattechnologie (SiCer) für Sensoren höchster Leistung - TP8: Material- und Technologieentwicklung SiCer basierter Systemkomponenten für Sensoren in rauer Umgebung
Im Rahmen dieses Projektes erforschen die Teilnehmer eine Technologie-Plattform für hochintegrierte Elektroniksysteme mit erweiterten Funktionalitäten der Sensoren. Das Ziel ist, die LTCC und Si-MEMS-Technologie monolithisch zu verbinden. Neben elektrischen Funktionen sollen weitere Aspekte integriert werden: thermische, fluidische und ggf. erweiterte elektrische, im Sinne kapazitiver oder induktiver Zusatzeigenschaften. Ein solches System kann die Zuverlässigkeit der Komponenten verbessern und neue, bisher nicht praktikable Mikrosystemlösungen ermöglichen.
Zeitraum: 01.09.2019 bis 31.08.2023
VP3: Gas-Sensoren auf Basis der SiCer-Verbundsubstrat-Technologie - TP4: Entwicklung eines NDIR Gassensors für Harsh Environment Applikation auf Basis SiCer basierter Systemkomponenten
Im Verbundprojekt 3 werden die Möglichkeiten der SiCer-Technologieplattform zur Realisierung verschiedener Sensoren erforscht. Ein Multisensor-Aufbau vergegenständlicht durch die Integration bisher verschiedener Sensorsysteme für Gas-, Temperatur, und Druckmessung das Potential der SiCer-Technologie.
Micro-Hybrid entwickelt und bewertet hierbei die SiCer-Komponenten: IR-Emitter und IR-Detektor sowie SiCer-Sensoren für Druck und Temperatur. Hinzu kommt die Forschung an Lösungen für die Verarbeitung der sensorspezifischen Signale, die Realisierung von Daten- und Kommunikationsschnittstellen, das Datenmanagement und die Energieversorgung.
Zeitraum: 01.09.2019 bis 31.08.2023
Intensivberatung und Prozessbegleitung durch Unternehmensberater/in
Begünstigter: Micro-Sensor GmbH
Projektbeschreibung
Gemäß der Beratungsrichtlinie des Freistaates Thüringen erhält das Unternehmen eine Förderung zur Steigerung der Leistungs- und Wettbewerbsfähigkeit durch Beratung von selbständigen Unternehmensberatern – Intensivberatung und Prozessbegleitung. Die Ergebnisse und Handlungsempfehlungen werden in einem Beraterbericht festgehalten. Die Förderung erfolgt aus Mitteln des Europäischen Sozialfonds und aus Landesmitteln des Freistaats Thüringen.
Mikrostrukturierter Diamant für optische Systeme (MiDioS)
skalierbare Basistechnologie und Einsatz in der ATR-Infrarotspektroskopie (MiDioS) - Teilvorhaben: System-in-Package-Integration ATR Sensorkopf
Gesamtziel des Verbundes MiDioS ist die Entwicklung der Prozesstechnik zur Herstellung und
Mikrobearbeitung von Diamant-Dünnschichten auf verschiedenen Trägermaterialien und die Demonstration des Potenzials der Technologie für Anwendungen in der optischen Sensorik. Dabei wird erstmals die Herstellung maßgeschneiderter Diamant-Mikrostrukturen für optische Anwendungen mit kosteneffizienten, waferbasierten, halbleitertechnischen Prozessen am Beispiel der IR-Messtechnik untersucht. Konkret gezeigt werden soll das Potenzial durch die Entwicklung eines neuartigen, integrierten Sensorsystems für die ATR-Spektroskopie und dessen Erprobung im realen Einsatz.
Zeitraum: 01.10.2017 bis 30.09.2020
Projekt: KerMuSens
Thema des Projektes KerMuSens ist die Entwicklung keramischer Mehrlagenaufbauten mit integrierten hochaufgelösten Strukturen für den Einsatz in Sensorik und Hochfrequenztechnik. Eine Zielstellung des Projektes ist die Erschließung neuer Einsatzgebiete durch die Verringerung der Strukturgrößen insbesondere in den inneren Lagen. Hier sollen Strukturgrößen im Bereich 10 µm bis 30 µm erreicht werden. Dieses Projekt wird gefördert durch die Thüringer Aufbaubank.
Projektpartner: TU Ilmenau
Projekt: Intensivberatung und Prozessbegleitung durch Unternehmensberater/in
Gemäß der Beratungsrichtlinie des Freistaates Thüringen erhält das Unternehmen eine Förderung zur Steigerung der Leistungs- und Wettbewerbsfähigkeit durch Beratung von selbständigen Unternehmensberatern – Intensivberatung und Prozessbegleitung. Die Ergebnisse und Handlungsempfehlungen werden in einem Beraterbericht festgehalten. Die Förderung erfolgt aus Mitteln des Europäischen Sozialfonds und aus Landesmitteln des Freistaats Thüringen.
Projekt: Thüringen-Invest
Investition zur Verbesserung der Wettbewerbsfähigkeit und Produktivität in KMU gefödert durch das Förderprogramm Thüringen Invest.
Beschreibung des Vorhabens: Anschaffung neuer Maschinen und Einrichtungen für das Unternehmen im Werk Ilmenau - Teil I
Zeitraum: 12I2015 - 12I2017
Projektnummer: 2015 TIZ 0488
Projekt: Thüringen-Invest
Investition zur Verbesserung der Wettbewerbsfähigkeit und Produktivität in KMU gefödert durch das Förderprogramm Thüringen Invest.
Beschreibung des Vorhabens: Investition der Arbeitsplatzförderung; Anschaffung neuer Maschinen und Einrichtungen für das Unternehmen - Teil II
Zeitraum: 23.12.2016 - 30.11.2018
Projektnummer: 2016 TIZ 0426
Projekt: Bildung und lebenslanges Lernen
Begünstigter: Micro-Hybrid Electronic GmbH
In Bildung, Ausbildung und Berufsbildung investieren - für Kompetenzen und lebenslanges Lernen
Projekt: GRW - Gemeinschaftsaufgabe "Verbesserung der regionalen Wirtschaftsstruktur"
Investition in den Ausbau von Produktionskapazitäten zur Verbesserung der Wettbewerbsfähigkeit und Produktivität in KMU
Projektnummer: GRW 4516 0056
§ Beschreibung des Vorhabens: Gebäudeumbau und -ausbau zur Erhöhung der Produktionskapazitäten in der Betriebsstätte in Münchenbernsdorf zur Herstellung von keramischen Schaltungsträgern und Sensoren
Zeitraum: 05I2015 - 10I2016
Projektnummer: GRW 4716 0099
§ Beschreibung des Vorhabens: Investition zur Anschaffung neuer Maschinen und Einrichtungen zum Ausbau der Produktionskapazitäten im Werk Hermsdorf
Zeitraum: 07I2017 - 06I2020
Projektnummer: GRW 48160014
§ Beschreibung des Projektes: Investition zur Anschaffung neuer Maschinen und Einrichtungen zum Aufbau einer modernen Modulfertigung im Werk Hermsdorf
Zeitraum: 12I2017 – 12I2019
Projektnummer: GRW 4816 0072
§ Beschreibung des Vorhabens: Investition in Umbaumaßnahmen und die Anschaffung neuer Maschinen zur Errichtung einer neuen Betriebsstätte
Zeitraum: 03I2018 - 12I2019
Projektnummer: GRW 4916 0013
§ Beschreibung des Vorhabens: Investition zur Anschaffung neuer Maschinen und Einrichtungen zum Aufbau einer neuen Modulfertigung im Werk Hermsdorf
Zeitraum: 10I2018 - 12I2020
Projektnummer: GRW 4916 0068
§ Beschreibung des Vorhabens: Investitionen in Umbaumaßnahmen und die Anschaffung neuer Maschinen zur Errichtung einer neuen Betriebsstätte
Zeitraum: 10I2018 - 12I2020